关灯
护眼
第一六四章 KrF 248n外光刻机
上一章 书架 目录 存书签 下一章
    &ep;&ep;“岸然,这事我必须当面和你说清楚,这七套设备虽然都是15微米制造工艺,不过其中有四台,和其他的有些区别。”

    &ep;&ep;王岸然一下来了兴致。

    &ep;&ep;“有什么不一样?”

    &ep;&ep;“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源,而另外四台……”

    &ep;&ep;“张教授,你倒是说啊!”

    &ep;&ep;张大京嘴角带着笑,指着王岸然说道“岸然,我一直以为你比别的年轻人沉得住气,现在看来,只是没找到你感兴趣的东西啊!”

    &ep;&ep;王岸然白了张大京一眼,说道“张教授,你再不说,我可要翻脸了啊!”

    &ep;&ep;“好!好!”张大京摇摇头,说道“岸然,有四台使用的是krf248纳米准分子激光光源。”

    &ep;&ep;额,王岸然感觉呼吸都有些急促,krf准分子激光光源有两种波长,一种是248纳米,另外一种就是193纳米。

    &ep;&ep;这跟高压汞灯光源不一样的是,高压汞灯光源还属于可见光,而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。

    &ep;&ep;虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究,而且取得了相应的成果,不过适用于光刻的248纳米光源,要求的是百焦级别的高功率,以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。

    &ep;&ep;门槛就在这里。

    &ep;&ep;事实上,ib早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻,而十五年过后,对国内来说,还是一道深不可测的技术门槛。

    &ep;&ep;没想到,这玩意竟然被张大京搞来了……

    &ep;&ep;王黯然忙问道“张教授,我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的,你怎么……?”

    &ep;&ep;“岸然,你错了,瓦森纳协议中限制出口的列表,今年没有把248纳米krf列入其中。

    &ep;&ep;不过需要说明的是,这款激光器是不可以用作军事用途的,所以,他们会派人监管,并定期检查的。”

    &ep;&ep;自己的消息还是滞后了啊!

    &ep;&ep;王岸然摇摇头,如果248纳米光刻机解除禁运的话,国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步,甚至在深紫光上有了突破。

    &ep;&ep;原因很简单,瓦森纳协议的核心就是n2政策,西方审批出口的依据就是,对华出口的设备必须是落后两代。

    &ep;&ep;而实际上,审批程序很复杂,等真拿到设备的时候,差不多已经是第三代的了,基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。

    &ep;&ep;这也没办法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙问道“张教授,这条芯片生产线,可以……”

    &ep;&ep;张大京打断王岸然的话,说道“岸然,这是我另外要说的一件事,248纳米激光光源光刻机,可以经过改造,用于1微米制程的芯片生产,不过,涉及一系列复杂的光学曝光技术,这些专利是要折算成资金入股的!”

    &ep;&ep;这个王岸然没有意见,如果能改造成沉浸式光刻机,320纳米制程都没问题。

    &ep;&ep;张大京拿出一份文件递给王岸然。

    &ep;&ep;“股权结构?”

    &ep;&ep;张大京点点头。

    &ep;&ep;王岸然翻开一看,愣住了。

    &ep;&ep;7亿美金只占了35的股份,张大京团队以技术入股,占15的股份,张大京自领5的干股,后面跟着一大串投资人。

    &ep;&ep;王岸然还看到了老伙计高盛,还有新加坡投资集团,湾岛国际等,这么多家,一共才出资3亿美元,加部分专利授权,占股45。

    &ep;&ep;“岸然,你是知道的,拉高盛进来,也是为我们的设备审批能够快一点,毕竟高盛在公关上还是有一套的。”

    &ep;&ep;王岸然倒不是为高盛入伙头疼,他是为华芯科技出了资金的大头,占的股份确只有三分之一多一点。

    &ep;&ep;唯一让王岸然有些安慰的,就是自己仍然是这家公司最大的股东。

    &ep;&ep;因为前面已经承诺,自己的股


目录 存书签 上一章 下一章
随便看看: 红尘江湖重生九零:农女致富忙武鳞斗破苍穹衍生同人维瓦兹英灵录先婚后爱王牌召唤师:逆天狂女从大唐开始的西游终极兵神仙门大佬竟是我前男友皇*穿成废柴后我称霸三界全民神袛:我的神域是无尽深渊楚浩我在江湖卡bug离婚后,妈咪A爆全球乔圆圆墨司爵江城已入眠杰罗姆|白莲花的步步引诱快穿之炮灰女配她又美又撩中天稗史:帝国的纷乱悟性逆天:我在昆仑魔国悟道长生